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中国φ300 mm晶圆生产线初见曙光

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@@ 最近一段时间,有关中国φ300mm晶圆生产线的利好消息不断传入笔者耳中.中芯国际北京φ300 mm厂生产的90 nm 512 MDDR2 SDRAM成功通过尔必达认证,Saifun的90 nm NROM Flash也试产成功,现已产出第一批工程样品,预计将于今年第四季开始量产;无锡海力士φ300mm生产厂6月底完成设备装机,本月已开始试生产;无锡海力士近期又获得7.5亿美元的银行贷款将用于投资扩厂……越来越多的利好消息使笔者终于看到φ300mm晶圆生产线在中国的一缕曙光.

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TP3;TP0

2006-11-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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7,64

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电子工业专用设备

1004-4507

62-1077/TN

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2006,35(10)

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