划片机气静压电主轴热态特性研究

摘要：

从划片机气静压电主轴的工作机理出发,研究主轴电机的功率损耗发热、空气轴承的气膜剪切摩擦发热;根据分析结果提出减小主轴发热和加强散热的措施.

关键词：气静压电主轴、功率损耗、空气轴承、气膜剪切摩擦、主轴散热

所属期刊栏目：35

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2006-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：24-28