降低IC芯片成本与提高设备自动化

摘要：

讨论了降低IC芯片成本与提高设备自动化的关系.要降低IC芯片成本和增加IC芯片制造商的利润必须提高IC芯片生产率和IC芯片良率,其保证措施即是设备自动化.

关键词：IC芯片、成本、生产率、良率、设备自动化

所属期刊栏目：35

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2006-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：10-13