真空装置中的常见污染和清洁处理

摘要：

主要介绍了真空装置中常见污染的形成、类型以及清洁处理的方法和真空工艺对环境的要求.

关键词：真空装置、污染物、清洁处理

所属期刊栏目：35

分类号：TB75(真空技术)

在线出版日期：2006-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：61-64