等离子清洗的应用与技术研究

摘要：

对等离子清洗技术在半导体方面的应用做了全面介绍,不仅介绍了有关等离子技术的基本概念、设备技术及其相关装置,而且着重介绍了它在半导体清洗中的应用及其注意事项.

关键词：等离子体、清洗技术、半导体、研究

所属期刊栏目：35

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2006-07-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：21-27