磨轮进给系统精度设计

摘要：

从机械设计和电气控制设计论述了晶片减薄机磨轮进给系统设计,尤其是磨轮进给系统定位精度实现的途径和关键环节.

关键词：滚珠丝杠副、滚动直线导轨、传动定位刚度、定位误差、闭环伺服控制、在线检测仪

所属期刊栏目：35

分类号：TN132(真空电子技术)

在线出版日期：2006-05-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：31-34,50