10.3969/j.issn.1004-4507.2006.02.005
65 nm工艺及其设备
介绍了65 nm工艺及其设备.它包括光刻工艺与193 nm Arf/浸入式光刻机、超浅结工艺与中电流/高电流离子注入机、铜互连工艺与PVD/ALD设备、CMP工艺与低应力CMP设备和清洗工艺与无损伤清洗设备等.
65nm工艺、设备、芯片
36
TP271(自动化技术及设备)
2006-04-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
18-20,48
10.3969/j.issn.1004-4507.2006.02.005
65nm工艺、设备、芯片
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TP271(自动化技术及设备)
2006-04-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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