日本近年RF MEMS开关研究的进展

摘要：

RF MEMS是射频表面微机械系统简称.射频表面微机械系统现在包括滤波器和微型电器元件,如开关,微可变电容和微可变电感.射频开关按驱动原理分有静电,压电,电磁以及热驱动.由于这一研究的高频化和高精度的特点,目前开关的研究集中在静电驱动的方式的研究上,从上市的产品来看,静电驱动是最有希望的RF MEMS的执行机构.静电执行器驱动的RF MEMS开关成为下一代高频通讯中的关键部件.

关键词：射频表面微机械系统、高频开关、高频继电器

所属期刊栏目：35

分类号：TN564

资助基金：中国科学院资助项目60576053;国家科技攻关项目2005AA404210

在线出版日期：2006-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：43-45