MEMS中的簿膜制造技术

摘要：

追述了薄膜淀积技术的历史,按照制备手段对MEMS制造中使用的各种薄膜制造技术进行了大致的分类和对比,介绍了相应的理论研究概况,除了电镀技术之外,MEMS技术基本来自传统的IC制造工艺.

关键词：微机电系统、薄膜淀积、PVD、CVD、电镀、物理淀积

所属期刊栏目：35

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：中国科学院资助项目60576053;国家科技攻关项目2005AA404210

在线出版日期：2006-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：39-42