应用于流动控制的MEMS传感器和执行器

摘要：

出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器.这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS).这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域.利用MEMS技术设计和制作了一种传感器和一种执行器.实验证明,采用体硅腐蚀的工艺制作微流体器件是可行的,同时可以避免牺牲层腐蚀和释放的复杂工艺.

关键词：微电子机械系统(MEMS)、剪切应力传感器、射流执行器、流体

所属期刊栏目：35

分类号：TP212.9(自动化技术及设备)

资助基金：中国科学院资助项目60576053;高比容电子铝箔的研究开发与应用项目2005AA404210

在线出版日期：2006-03-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-27,62