聚焦离子束曝光技术

摘要：

聚焦离子束技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术.它大大提高了微电子工业上材料、工艺、器件分析及修补的精度和速度,目前已经成为微电子技术领域必不可少的关键技术之一.对聚焦离子束曝光技术作了介绍.

关键词：聚焦离子束、液态金属离子源、曝光

所属期刊栏目：34

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2006-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：56-58