生产型管式PECVD设备

摘要：

太阳能电池作为新一代的绿色安全、无污染、长寿命的能源,已经广泛在欧洲等发达国家的军民行业中应用并在我国迅速推广.论述了由中国电子科技集团公司第四十八研究所研制的生产型管式PECVD设备的原理、构成及特点,并对其工艺结果进行了讨论.该设备已在国内太阳能电池生产线上运行近一年,其可靠性高,成膜均匀性好,得到了用户的好评.

关键词：PECVD、太阳能电池、多晶硅

所属期刊栏目：34

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2005-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：34-36,54