光刻机宏动试验运动平台设计及其减振系统仿真研究

摘要：

根据光刻机的步进运动、同步扫描运动和自然振动的特点,设计了两种形式的宏动运动平台结构图和整个系统精密减振方法,并选用STACIS2000减振器作为系统的主动减振器.对ADAMS的求解原理进行了简单介绍并运用ADAMS仿真软件分别建立了两种结构对应的虚拟仿真模型,对减振系统分别无主动控制和有主动控制进行了仿真研究.结果表明,没有主动控制的结果不能满足光刻机的工作要求,采用主动控制比没有主动控制的效果要好并能满足工作要求.通过两种方案的结果对比分析,选择第二种结构方案作为本课题的设计方案.

关键词：光刻机、精密减振、ADAMS、仿真

所属期刊栏目：34

分类号：TH161.6

资助基金：国家自然科学基金;上海市科委资助项目50390064

在线出版日期：2005-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：24-29