电子束曝光机激光工件台测量系统研究

摘要：

由于电子束曝光机采用的修正技术,工件台的测量系统显得十分重要.介绍了电子束曝光机激光定位精密工件台的工作原理,其测量系统首次采用国际先进的HP5527双频激光干涉仪.对测量系统进行了详细的误差分析,在此基础上提出了系统误差的补偿方法.

关键词：激光干涉仪、工件台、电子束曝光机、误差分析

所属期刊栏目：34

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：中国科学院知识创新工程项目H2K0206

在线出版日期：2005-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：19-23