300 mm硅片技术发展现状与趋势

摘要：

综合评述了300mm硅材料在晶体生长、硅片成形、表面质量控制、衬底优化以及表征等方面的研究现状和发展趋势,特别是国内在300mm硅技术研究中所获得的一些成果.

关键词：硅材料、300mm硅片、单晶硅生长技术

所属期刊栏目：34

分类号：F4(工业经济)

在线出版日期：2005-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6