10.3969/j.issn.1004-4507.2005.08.003
新型硅芯晶体炉的开发与设计
从分析硅芯晶体生长的工艺特点出发,简要介绍了硅芯晶体生长设备的设计思想以及新近开发设计的新型硅芯晶体炉的机械结构及电气控制系统.
硅芯炉、工艺特点、机械结构、电气控制
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TF806.9(有色金属冶炼)
2005-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
7-9,12
10.3969/j.issn.1004-4507.2005.08.003
硅芯炉、工艺特点、机械结构、电气控制
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TF806.9(有色金属冶炼)
2005-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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