用于GaN生长的生产型MOCVD设备控制系统设计

摘要：

MOCVD法外延生长GaN基材料作为新世纪的核心技术之一受到全世界的高度重视.MOCVD技术涉及面广,控制对象复杂,且对控制对象的精度、重复性、可靠性要求较高.主要介绍了用于GaN基材料生长的生产型MOCVD(2"×6)设备控制系统的组成与特点.设备运行一年来的结果表明,该系统可靠性高、抗干扰性好、运行效果良好.

关键词：MOCVD、PLC、GaN、自动控制系统

所属期刊栏目：34

分类号：TN304.054(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA311243

在线出版日期：2005-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：14-17