反应离子刻蚀铝中nMOS 器件的等离子充电损伤

摘要：

介绍在等离子工艺中的等离子充电损伤,并且利用相应的反应离子刻蚀(RIE)Al的工艺试验来研究在nMOSFET器件中的性能退化.通过分析天线比(AR)从100:1到10000:1的nMOSFET器件的栅隧穿漏电流,阈值Vt漂移,亚阈值特性来研究由Al刻蚀工艺导致的损伤.试验结果表明在阈值Vt漂移中没有发现与天线尺寸相关的损伤,而在栅隧穿漏电流和低源漏电场下亚阈值特性中发现了不同天线比的nMOS器件有相应的等离子充电损伤.在现有的理解上对在RIE Al 中nMOS器件等离子充电损伤进行了讨论,并且基于这次试验结果对减小等离子损伤提出了一些建议.

关键词：等离子充电损伤、栅隧穿漏电流、阈值Vt漂移、亚阈值特性、天线比(AR)

所属期刊栏目：34

分类号：TN405.98;TN406(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2005-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：43-47,64