10.3969/j.issn.1004-4507.2005.04.003
设备制造商应思考的新问题
讨论了面对半导体产业的新形势,设备制造商应思考新问题和寻找新产品;并指出半导体设备的新发展趋势,如设备的模块化、软件化和多功能化.
半导体设备、模块化、软件化、多功能化
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TN305(半导体技术)
2005-04-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
17-19
10.3969/j.issn.1004-4507.2005.04.003
半导体设备、模块化、软件化、多功能化
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TN305(半导体技术)
2005-04-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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