10.3969/j.issn.1004-4507.2005.04.002
半导体工业的发展概况(续)
@@ 3半导体硅片产业的发展现状
3.1国外半导体硅片及φ300mm硅片市场概况
硅抛光片是制造IC芯片的基础材料,全球主要的硅片生产供应商有日本信越、三菱与住友金属工业合并成的SUMCO公司及日本东芝陶瓷公司、日本小松电子金属、德国瓦克公司和韩国LG Sil-tron、美国MEMC Electronic Materials等公司.
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2005-04-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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