0.2～1μm IC生产线中二手Stepper解决方案

摘要：

通过对国内IC生产线及其Stepper装备的现状、市场前景的分析,阐述了国内0.2～1μmIC生产线中二手Stepper解决方案.

关键词：分辨率、IC生产线、二手Steppe r、解决方案

所属期刊栏目：34

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2005-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：34-37