IC加工及检测装备超精密工作台自标定技术研究

摘要：

在对超精密工作台自标定相关文献综述的基础上,基于刚体运动方程和非线性最优化方法,提出了一种超精密工作台自标定算法.仿真结果表明:该算法可以实现超精密工作台的标定,并且其最终标定精度与辅助测量装置精度无关,只受自标定过程中随机测量噪声的影响.

关键词：超精密、工作台、自标定

所属期刊栏目：34

分类号：TH161+.5

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2003cb716204

在线出版日期：2005-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：20-24