基于低能电子束的光刻技术

摘要：

讨论了聚焦电子束曝光中的邻近效应问题,阐述了扫描隧道显微镜的原理和工作方式.把扫描隧道显微技术用于低能电子束的光刻,不仅能提高图形的分辨率,而且使电子束加工工艺不再局限于真空环境.对曝光电子的能量和线条宽度之间的关系进行了分析.

关键词：扫描隧道显微镜、电子束曝光、隧道效应、场发射

所属期刊栏目：34

分类号：TN16;TH742(真空电子技术)

资助基金：国家自然科学基金90307003;山东省自然科学基金Y2003G03;山东省科技攻关项目022090105

在线出版日期：2005-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-36