TDL-Ta60型单晶炉的研制

摘要：

介绍了TDL-Ta60型单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点.

关键词：单晶炉、结构、直拉法、线圈升降

所属期刊栏目：34

分类号：TF806(有色金属冶炼)

在线出版日期：2005-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：71-74