悬臂梁微尖端器件的制备与应用研究进展

摘要：

随着扫描隧道显微镜(SPM)家族的成熟,悬臂梁微尖端MEMS器件的广泛应用前景也逐渐清晰.对悬臂梁微尖端MEMS器件的种类、微尖端制作方法以及现今的研究应用方向进行了论述,最后指出了悬臂梁微尖端MEMS器件向着大规模阵列化发展的方向.

关键词：扫描隧道显微镜、MEMS、微尖端、悬臂梁

所属期刊栏目：34

分类号：TN40(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2002CB311907;国家自然科学基金60236010,60376020

在线出版日期：2005-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：15-19