MEMS与智能化微系统

摘要：

智能化微系统是MEMS的下一步的发展方向,介绍了几种构成智能微系统的集成方式,分析了微系统在应用、研究中存在的问题.

关键词：MEMS、CMOS、智能微系统

所属期刊栏目：34

分类号：TN40(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2003CB314703,2003CB314704;国家自然科学基金60236010,90207004

在线出版日期：2005-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：10-14