最新的集成电路诊断技术-OptiFIB

摘要：

@@ 集成电路诊断在第一片硅片的诊断中尤为重要.对于新的IC设计在加工第一片硅片前,必须进行特别的计划和努力.如果第一片硅片失效,必须尽一切可能修复.必须找到所有导致器件失效的原因并尽快找到修正方法.找到失效问题的方法有两种:

机标关键词：集成电路、失效问题、硅片、电路诊断、修正方法、器件失效、设计、加工

所属期刊栏目：33

分类号：TP2;O15

在线出版日期：2004-12-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：78-81