基于数学建模要求下先进的提拉法控制系统研制

摘要：

提出了在开发一种先进的直拉法晶体生长控制系统中占据重要地位的设备及工艺特征的下位机模型;分析所采集到的实验数据,揭示出控制中的重要问题,由此开发了一种新的控制结构;该模型是建立在常规控制结构和提出新的控制结构性能对比的基础上.

关键词：计算机模拟、控制系统设计、生长模型、热传递、直拉法、半导体Si

所属期刊栏目：33

分类号：TN304.053(半导体技术)

在线出版日期：2004-12-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：58-63