如何选购适合半导体专用的大气机械手臂运用于EFEM设备上

摘要：

从φ150 mm开始Robot(机械手臂)就被广泛运用,除了有效地降低微尘颗粒的大小、允许以程序化来决定晶圆取放的路径等优点外,自动化作业的迫切需求,更是其主要原因.Robot被分为Liner与Scara两种,Scara Type在φ200 mm及之后晶圆制造中运用较多.采购Robot通常有两种情况,一为只单纯买一个Robot,不需要配合其它外围做运用.二为需要搭配外围做整合/集成,此种方式在半导体业较为普及,但是也较为复杂.现以布鲁克斯(Brooks)在设备自动化整合方面的经验,与国内业界友人一同探讨选购Robot的诀窍及注意事项.

关键词：共享型式的进/出接口、电讯化分析、晶圆盒打开及乘载之设备标准

所属期刊栏目：33

分类号：TP241(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：72-77