砂轮划片机划切技术的研究

摘要：

砂轮划片机划切技术的研究和应用直接关系到设备应用的好坏.对划切中轴转速、划切速度、基片固定、刀片等进行了系统分析研究,具有指导性地提出了选择该类参数的方法.

关键词：主轴、刀片、冷却、基片固定、划切速度

所属期刊栏目：33

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2004-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：68-71