100nm线宽的掩模硅片自动对准算法

摘要：

对100nm线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴加离轴对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中,该对准算法模型有一定可行性,能很好地满足100nm线宽对准精度的要求.

关键词：掩模硅片、对准、对准模型、坐标阵列、最小二乘法

所属期刊栏目：33

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家重点实验室基金

在线出版日期：2004-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：63-67