晶体生长设备的真空系统设针

摘要：

阐述了降低真空系统漏气率的一些措施,包括真空系统设计中的结构设计、密封形式的选择、密封材质的选用等,提出了一种新型的静密封结构,提高了真空系统的密封性能.

关键词：真空、密封、漏气率、密封结构

所属期刊栏目：33

分类号：TF806.9(有色金属冶炼)

在线出版日期：2004-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：51-53