半导体行业中超纯水的质控

摘要：

USP(<美国药典>)对超纯水的质量有着严格的规定,是半导体厂商良好的参考标准,梅特勒-托利多SevenMul6模块化多功能仪表,内置USP表格,完全满足USP要求.

关键词：USP、超纯水、电导率、SevenMulti

所属期刊栏目：33

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：35-36，39