半导体材料加工设备的新秀--多线切割机

摘要：

对多线切割机各个部分的作用、原理及整机性能作了简要介绍.

关键词：多线切割机、导线轮、载荷传感器、工作台、定向偏转系统、智能控制、砂浆

所属期刊栏目：33

分类号：TN305.1(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：63-65