关于半导体检测分析设备ICP-MS的日常维护

摘要：

介绍了半导体检测设备ICP-MS在半导体工业中的发展及几个重要组成部件的功用,着重介绍了该设备各主要部件的维护.

机标关键词：半导体工业、检测设备、分析设备、组成部件、维护

所属期刊栏目：33

分类号：X78;TN3

在线出版日期：2004-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：59-60