新一代微细加工的手段聚焦离子束技术及组合系统

摘要：

随着现代微电子工业的迅猛发展,电子元器件的尺寸越来越小、电路的集成度越来越高.尤其是近几年,由于制造工艺和手段的日趋成熟,使得高性能、高质量的新一代集成电路层出不穷.20世纪90年代发展起来的聚焦离子束技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术.它大大提高了微电子工业上材料、工艺、器件分析及修补的精度和速度,目前已经成为微电子技术领域必不可少的关键技术之一.

关键词：聚焦离子束、FIB、微电子技术

所属期刊栏目：33

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：53-55,62