引线键合机工艺技术分析

摘要：

从3个方面分析了热超声键合相关工艺技术,结合工艺时序图对键合头功能作了介绍,并对弧形的控制过程进行剖析.

关键词：热超声键合、工艺时序图、弧形

所属期刊栏目：33

分类号：TN305.96(半导体技术)

在线出版日期：2004-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：78-81