FFU在电子超净工程中应用

摘要：

介绍FFU在超净工程中的优势,以实例讨论了超净工程中使用FFU如何最优化设计,简化系统,降低成本.

关键词：FFU、吊顶龙骨、过滤器

所属期刊栏目：33

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2004-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：74-77