应用SMIF技术促进高量产Fab的更新升级

摘要：

鉴于芯片特征尺寸不断缩小,制造技术不断推进许多工厂面临挑战.为了降低成本减少风险,对现有的操作冲击最小,德州仪器公司(TI)选用标准机械接口(SMIF)技术作为fab的设施升级手段.本文讨论了选用SMIF技术的原因,公司预期项目的结果,以及使选用的SMIF系统可能产生的负面效应降低到最低.关于安装和工艺判定随项目的结果评述.

关键词：标准机械接口(SMIF)、SMIF小室、自动物料处理系统(AMHS)、SMIF围护、SMIF标识符

所属期刊栏目：33

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2004-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：69-73