IC生产线晶圆片冲洗甩干设备的开发和应用

摘要：

从IC生产线晶圆片旋转冲洗甩干工艺出发,介绍了半导体晶圆片清洗后的旋转冲洗甩干方法,以及新近开发研制的CXS系列旋转冲洗甩干机的技术原理、结构特点及工艺应用情况.

关键词：晶圆片、旋转冲洗、甩干、CXS系列

所属期刊栏目：33

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2004-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：64-68