应用MBTC温控系统实现对扩散炉的先进工艺要求

摘要：

说明了如何设计、开发及应用于扩散炉之MBTC温控系统以满足先进工艺需求.MBTC温控系统是由搭配H∞多变数控制设计法建构一模型表示温度与加热丝功率变化的关系,以取代传统PID控制系统,并可提供更优异的温度控制、生产效率、工艺质量与投资回收率.

关键词：扩散、扩散炉、温度控制

所属期刊栏目：33

分类号：TF860.1(有色金属冶炼)

在线出版日期：2004-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：60-63