嵌入型量测设备及封闭式控制回路在提升研磨制程能力的应用

摘要：

诺威量测为第一家首先提出嵌入式量测解决方案的公司,凭借其在嵌入式量测及先进制程控制所取得的经验,提供在化学机械研磨制程上降低生产成本且可提高产品质量的测量系统.探讨嵌入型量测的观念及原理,封闭式回路控制在芯片生产上已被应用多年.

关键词：化学式机械研磨、封闭式控制回路、嵌入式制程控制、自动化制程控制、嵌入式厚度监测

所属期刊栏目：33

分类号：TN605(电子元件、组件)

在线出版日期：2004-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：27-28,48