先进ATHENATM选用策略与对准功能

摘要：

基于先进科技对准规格的减缩,对准仪量测数据的应用也变得更为重要.不同对准策略的选择所引起的结果,对全部对准预算有很重要的影响.介绍两个主要科技研发项目:先进对准配套和对准标的设计.

关键词：对准系统、多组光栅标、化学机械抛光、晶圆对位

所属期刊栏目：33

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：28-35