光刻机超精密工件台研究

摘要：

针对步进扫描投影型光刻机超精密工件台开展研究,所搭建的超精密气浮运动试验台采用气浮直线导轨支撑、直线电机驱动、直线光栅尺反馈组成大行程直线运动系统,其上叠加洛仑兹电机驱动的气浮微动台,提供对直线电机运动的精度补偿,由双频激光干涉仪提供粗、精动运动系统的超精密位置检测和反馈,两套直线运动系统可研究同步扫描运动,并可灵活地组成多种x-y超精密运动系统.介绍了基于该试验台进行的超精密运动控制试验研究,运动定位精度已经达到12 nm.

关键词：光刻机、超精密、工件台、气浮导轨、运动控制、纳米

所属期刊栏目：33

分类号：TN350.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-27,44