一种可实用的照明曝光系统

摘要：

以作者多年的工作体会为基础,结合几种照明曝光系统的情况,介绍了提高光刻机的照明均匀性和单位面积能量的一些具体措施.并以光学均匀器为例,做出一种可实用的照明曝光系统.

关键词：照明均匀性、单位面积能量、光学均匀器

所属期刊栏目：33

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：19-24