气囊在光刻中的应用

摘要：

介绍了气囊系统的功能、结构及减振原理,着重指出了"动态捷径"及重心移动对曝光系统所产生的影响,详细描述了气囊控制环如何保持位置受控并对动态捷径进行监控,从而可消除振动特别是动态捷径及重心移动对系统所造成的不利影响.

关键词：气囊、质量--弹簧系统、前馈力、捷径

所属期刊栏目：32

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2003-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：53-58