自动实时X射线检测技术在半导体制程控制中的应用

摘要：

对X光检测的不同技术在半导体制程上的应用作了详细的介绍;着重讨论了全旋倾斜(off-axis)X射线技术的特点和优势.

关键词：全旋倾斜X射线技术、X射线透视检测技术、三维体层X射线摄像技术、机算机处理层析X射线成像、通用分层X射线成像、数字层析合成成像技术

所属期刊栏目：32

分类号：TN605(电子元件、组件)

在线出版日期：2003-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：27-31