光源步进扫描实现大面积光刻

摘要：

介绍了一种大面积接近、接触式光刻的新方法,通过光源步进拼接扫描提供一个高均匀度的大面积的照明光源.主要论述了小面积扫描单元的形状及步进扫描拼接原理、应用及其优点,分析了扫描面的不均匀度.

关键词：光源、步进扫描、扫描单元、大面积光刻

所属期刊栏目：32

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2003-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：52-54