步进扫描工作台气浮结构分析

摘要：

着重分析了步进扫描工作台的气浮结构及原理,指出了气浮设计及控制中需要注意的一些问题.

关键词：步进扫描工作台、平均移动误差、移动标准误差、微动台、气浮导轨、气足

所属期刊栏目：32

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2003-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：45-51