TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析

摘要：

随着大规模集成电路和太阳能光伏电池的飞速发展,越来越多的TDR-70A型单晶炉投入了市场应用,为了充分发挥设备的能力,有必要对设备的维护及故障的排除有更深的了解,结合设备的结构特点阐述了TDR-70A型单晶炉的维护与常见故障分析,供大家参考.

关键词：单晶炉、人工晶体、硅单晶

所属期刊栏目：32

分类号：TF806.9(有色金属冶炼)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：51-56